表面潔凈度測試儀
一、 儀器介紹
概述：
表面潔凈度測試儀采接觸式，量測物體表面的粒子數(shù)量的設(shè)備。半導(dǎo)體，面板廠，設(shè)備商與所有清潔部件廠商，驗(yàn)證部件表面是否干凈的檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)工具，人的肉眼很難看清直徑在100微米以下的粒子，這些粒子會快速沉降，逃避常規(guī)的空氣檢測從而聚集在關(guān)鍵表面或產(chǎn)品上，從而減少產(chǎn)品的良率及降低產(chǎn)品的穩(wěn)定性。
執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：
ISO14644-9:2022 《潔凈室和相關(guān)的受控環(huán)境第 9 部分:顆粒濃度表面清潔度的評估》
二、 儀器參數(shù)
技術(shù)參數(shù)：
控制系統(tǒng)：PLC
操作界面：7寸觸摸屏
流量:28.3L/min+5% 內(nèi)置流量傳感器，流量自動閉環(huán)控制
光源: 進(jìn)口激光二極管
測試粒徑:0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0um（可根據(jù)客戶需求定制，最多八個通道）
最大飽和濃度:2000000/ft3（5%）
自凈時間:≤10min
測量次數(shù):0-99次周期:0-99999秒測量間:0-9999秒時時間:0-9999秒
潔凈度等級:1~9級
采樣頭規(guī)格:φ36.5
數(shù)據(jù)單位:m3、ft3
SCP等級:1級-8級
表面類型:圓形、方形
表面探頭:φ12.7 mm、φ20 mm、φ30 mm、φ50 mm、φ70 mm
數(shù)據(jù)單位:m2、ft2、in2、cm2、mm2
根據(jù)探頭的形狀（如:圓形輸入直徑、方形輸入長寬尺寸），自動計(jì)算出表面積。
打印功能:熱敏打印機(jī)
數(shù)據(jù)儲存:可儲存100000組數(shù)據(jù)
重量:15kg
外形尺寸:300*400*450mm
電源：AC220V 50Hz 150W （可選帶鋰電池組）
基本配置
主機(jī) 一臺
說明書 1份
合格證1份
簽收單1份
電源線1份
扳手1套
保修卡 一個
銘牌 一個
